环氧乙烷灭菌的四要素：分别是温度、湿度、浓度、时间；环氧乙烷灭菌加湿的作用是，可以提高灭菌的效果，温度一般在30~70之间，温度与灭菌效果正相关，但不宜太高，因为环氧乙烷灭菌的优势就是低温灭菌；湿度一般在30~80RH，大于30RH后，湿度增加不会明显改善灭菌效果。

恒温、压力、浓度影响灭菌效果

环氧乙烷的灭菌机制是通过 其与微生物发生非特异 性烷基化作用，从而抑制微生物反应基的正常功能，使其新陈代谢发生障碍而死亡。

环氧乙烷的灭菌效果，与灭菌室内的温度、压力、湿度及环氧乙烷的浓度有关，这些工艺参数在适当的数值上，可以缩短灭菌时间，达到最佳灭菌效果。

因此，

1、灭菌器的工作过程首先对灭菌室加温，直到温度达到预定的灭菌温度;温度一般在30~70度之间,温度与灭菌效果正相关，但不宜太高,因为环氧乙烷灭菌的优势就是低温灭菌；

2、EO浓度实际操作用400~800mg/l的居多,浓度越高灭菌效果越好,时间可越短；

3、然后，灭菌室抽真空，当达到预定的真空度后，开始对灭菌室加药；

4、在上述过程结束后，定时钟开始工作，灭菌过程开始；

5、在整个灭菌过程中需保持恒温状态;当灭菌时间到，则开始对灭菌室进行换气，即用经过滤后的清洁空气置换灭菌室内的残余环氧乙烷气体，将残气排出;残气经废气处理系统处理后排放。

至此，整个灭菌过程结束。