高效过滤器的效率检测方法多种多样，但历经半个多世纪的发展和演变，目前影响较大、使用范围较广的有：DOP法、粒子计数法和最易穿透粒径t(MPPS)法。

1．1 DOP法

DOP法特指热生成(凝结法)DOP气溶胶加光度计测量法。该法最先由美国提出：将DOP液体加热成蒸气，蒸气在特定条件下冷凝成微小液滴，去掉过大和过小的液滴后留下03“m左右的单分散相气溶胶颗粒，雾状DOP进入风道，后用光散射式光度计检测过滤器前后气样的浊度比来计算过滤器的过滤效率。

1．2粒子计数法

粒子计数法以粒子计数器作为检测仪器，尘源采用单分散或多分散气溶胶。多分散气溶胶是通过喷雾法(冷生成)产生的，胶源有时也应用DOP粒子，与热生成DOP粒子相比．它们的材料相同，但分散度和检测方法均不相同，应加以区分。冷发生DOP气溶胶加粒子计数器是目前最常用的粒子计数法组合方式。

1．3最易穿透粒径(MPPs)法

最易穿透粒径法也称为计数扫描法．是目前国际上高效过滤器的主流试验方法。它的基础仍是粒子计数。只是测试尘源采用最易穿透粒径的粒子。用大流量激光粒子计数器或凝结核计数器对过滤器的整个出风面进行扫描检验。这种方法不仅能测量过滤器的平均效率。还可以比较各点的局部效率(渗漏试验)。

2高效过滤器的检漏

要保证洁净室的洁净度级别。除了选取适当的过滤器外，还必须要求安装的高效(超高效)过滤器无漏点，一只渗漏的过滤器会导致整个工程设计的失败。因此。检漏也是高效过滤器性能试验中极其重要的一部分。国内外的相关标准也对此作出了专门的规定。高效过滤器的检漏常采用冷发生DOP加计数扫描或光度计扫描。

2．1计数扫描

计数扫描采用的仪器是粒子计数器。测试值反映气流中计径粒子的计数浓度(粒／L)。扫描检漏过程与效率测试中的MPPS法类似．因此可以允许通过扫描试验数据计算效率，使效率试验和扫描检漏工作合而为一。计数扫描法灵敏度高，可适用于扫描ULPA过滤器。

2．2光度计扫描

光度计扫描采用的仪器是气溶胶光度计．测试值反映气体中颗粒物质的质量浓度(斗g，L)。相比于计数扫描法，光度计扫描的敏感度较低．不适用于效率高于99．999％的高效过滤器。